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सीएमपी रिटेनिंग रिंग के लिए उपयोग करने के लिए सबसे अच्छी सामग्री क्या है

June 12, 2023

सीएमपी रिटेनिंग रिंग के लिए उपयोग करने के लिए सबसे अच्छी सामग्री क्या है?


सिलिकॉन वेफर्स सिलिकॉन सेमीकंडक्टर सर्किट के उत्पादन में उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन वेफर्स हैं, और फिर सिलिकॉन वेफर्स की उत्पादन प्रक्रिया में मैकेनिकल पॉलिशिंग प्रक्रिया है और यह एक बहुत ही महत्वपूर्ण लिंक है, हम आमतौर पर कुछ इंच वेफर्स सुनते हैं, जो बड़े व्यास का प्रतिनिधित्व करता है। सिलिकॉन वेफर, इस सिलिकॉन वेफर का प्रदर्शन जितना बेहतर होगा, तकनीकी शक्ति का अवतार जितना मजबूत होगा, इसलिए वेफर्स की उत्पादन प्रक्रिया में, उपज दर एक बहुत महत्वपूर्ण स्थिति बन गई है, जो वेफर सतह पॉलिशिंग आवश्यकताओं के लिए भी बढ़ रही है, सीएमपी पॉलिशिंग प्रक्रिया भी अधिक से अधिक परिष्कृत होती जा रही है, इसलिए अंतिम परिपक्व सीएमपी फिक्स्ड रिंग का उपयोग करने के लिए पॉलिशिंग प्रक्रिया


वेफर पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान, सीएमपी रिटेनिंग रिंग को पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ना चाहिए। पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान, विभिन्न रसायनों को जोड़ा जाता है, और ये तरल पदार्थ पॉलिश घटकों को खारिज कर सकते हैं, इसलिए इसके लिए कुछ यांत्रिक भार, अच्छे लचीलेपन और संक्षारण प्रतिरोध और अन्य विशेषताओं का सामना करने में सक्षम होने के लिए सीएमपी रिटेनिंग रिंग की आवश्यकता होती है।

संक्षेप में, सीएमपी रिटेनिंग रिंगों का निर्माण करने के लिए, हमें बाद में वेफर्स की खरोंच को कम करने के लिए बहुत उच्च प्रसंस्करण सटीकता और आयामी स्थिरता के लिए प्रोसेसर की आवश्यकता होती है।

आमतौर पर हम दो विशेष इंजीनियरिंग प्लास्टिक का चयन करते हैं: पीपीएस और सीएमपी रिटेनिंग रिंग्स को संसाधित करने और उत्पादन करने के लिए पीक।

PPS CMP retaining ring
पीपीएस सामग्री को उच्च पहनने के प्रतिरोध, अच्छे रासायनिक प्रतिरोध और विलायक प्रतिरोध के साथ-साथ अच्छे घर्षण गुणों, उच्च-सूर्य के स्वच्छ प्रकार की सामग्री, वेफर को दूषित नहीं करेंगे, पीक सीएमपी फिक्स्ड रिंग की तुलना में, पीपीएस सीएमपी फिक्स्ड रिंग लागत है। लोअर, और एक पूर्ण औद्योगिक श्रृंखला का गठन किया है, जिसमें परिवार लागत प्रदर्शन पर प्रकाश डालता है।

PEEK PPS CMP ring

पीपीएस सीएमपी रिटेनिंग रिंग में घर्षण का एक उच्च गुणांक होता है, पीपीएस की तुलना में पीपीएस सीएमपी रिटेनिंग रिंग घर्षण प्रदर्शन अधिक उत्कृष्ट है, एक अधिक व्यापक और स्थिर रासायनिक प्रतिरोध है, उच्च तापमान प्रतिरोध की एक विस्तृत श्रृंखला है, ताकि लंबे समय में सीएमपी रिटेनिंग रिंग पीक करें- उच्च शक्ति मशीनिंग वातावरण को अधिक स्थिर, सापेक्ष समय में, एक ही काम की स्थिति, लंबे समय तक, लेकिन लागत भी कुछ की तुलना में अधिक होगी।

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